政策协同发力高端真空装备国产化进程提速

发布时间：

2025-12-19

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概要：随着国家 “十四五” 战略性新兴产业发展规划深入实施，高端真空装备作为半导体、新能源等产业的核心支撑，正迎来政策密集支持期。

随着国家 “十四五” 战略性新兴产业发展规划深入实施，高端真空装备作为半导体、新能源等产业的核心支撑，正迎来政策密集支持期。据悉，国家集成电路产业投资基金、重点研发计划专项等多元资金渠道已形成合力，地方层面上海、深圳、合肥等产业集聚区亦出台研发补贴、供应链配套等专项政策，推动真空系统核心技术攻关。数据显示，国内高端真空装备国产化率已从 2021 年的不足 20% 提升至 2025 年的 30% 以上，其中半导体设备用真空系统在 8 英寸晶圆线渗透率突破 25%，政策红利持续释放行业发展潜力。

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