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核心技术实现突破 国产真空装备性能比肩国际
概要：国内真空装备行业近期传来多项技术突破，核心部件国产化取得关键进展。
国内真空装备行业近期传来多项技术突破，核心部件国产化取得关键进展。分子泵、干泵等核心设备极限真空度已达 10^-10 Pa 级别，抽速覆盖 50-5000L/s，满足不同工艺场景需求；智能控制系统通过物联网与 AI 算法优化，抽气效率提升 15%-20%，能耗降低 10% 以上。上游环节，99.999% 纯度铱钽合金丝等关键材料实现国产化替代，核心元器件本地化率从 28% 跃升至 57%，推动整机平均故障间隔提升至 28000 小时，接近国际主流水平。
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受益于 5G 通信、人工智能、新能源汽车等下游应用驱动，全球半导体设备市场规模持续扩容，2023 年已突破千亿美元大关，预计 2025 年真空系统细分市场规模将超 200 亿美元。
2025-12-19
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