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SVJ系列 旋片真空泵
旋片泵凭借大抽速与稳定的中高真空性能,广泛应用于半导体制造、光伏镀膜、真空热处理等工业制程,同时也在真空包装、制药与化工领域的脱气、干燥环节发挥重要作用。
产品分类:
关键词:
旋片真空泵优势介绍
◆抽气速率稳定,极限真空度高;
◆结构紧凑,体积小,占地面积小;
◆运行成本低,维护保养简便;
◆适用范围广,可用于多种气体及少量可凝性气体的抽除;
◆泵腔含油密封,气密性好,不易返油;
◆有气镇功能时,可有效排出水蒸汽等可凝性气体
◆过载能力强,可在恶劣工况下稳定工作
应用行业
旋片泵凭借大抽速与稳定的中高真空性能,广泛应用于半导体制造、光伏镀膜、真空热处理等工业制程,同时也在真空包装、制药与化工领域的脱气、干燥环节发挥重要作用。
抽速曲线

技术参数

项目 |
| SVJ300 |
峰值抽速 | m³/h | 180 |
L/s | 50 | |
极限真空度(关闭气镇) | Pa | ≤ 8 |
Torr | ≤ 6×10⁻² | |
mbar | ≤ 8×10⁻² | |
极限真空度(打开标准气镇) | Pa | ≤ 70 |
Torr | ≤ 5.25×10⁻³ | |
mbar | ≤ 7×10⁻² | |
额定功率 | kW | 5.5 |
输入电源 | V | 380V三相 |
输入频率 | Hz | 50 |
进气/排气接口 |
| G2内螺纹 |
油量(油箱容量) | L | 8.5-11.5 |
冷却方式 |
| 风冷 |
环境温度 | ℃ | 5-40 |
噪音 | dB(A) | ≤70 |
重量(约) | kg | 250 |
尺寸(L*W*H) | mm | 1086X556X450 |
防护等级 |
| IP55 F级 |
适用介质 |
| 干燥气体、少量可凝性气体(带气镇时)、非腐蚀性气体(可选防腐涂层) |
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