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SVJ系列 旋片真空泵

旋片泵凭借大抽速与稳定的中高真空性能,广泛应用于半导体制造、光伏镀膜、真空热处理等工业制程,同时也在真空包装、制药与化工领域的脱气、干燥环节发挥重要作用。

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旋片真空泵优势介绍 

◆抽气速率稳定,极限真空度高;
◆结构紧凑,体积小,占地面积小;
◆运行成本低,维护保养简便;
◆适用范围广,可用于多种气体及少量可凝性气体的抽除;
◆泵腔含油密封,气密性好,不易返油;
◆有气镇功能时,可有效排出水蒸汽等可凝性气体
◆过载能力强,可在恶劣工况下稳定工作

应用行业

旋片泵凭借大抽速与稳定的中高真空性能,广泛应用于半导体制造、光伏镀膜、真空热处理等工业制程,同时也在真空包装、制药与化工领域的脱气、干燥环节发挥重要作用。

抽速曲线

技术参数

项目

 

SVJ300

峰值抽速

m³/h

180

L/s

50

极限真空度(关闭气镇)

Pa

≤ 8

Torr

≤ 6×10²

mbar

≤ 8×10²

极限真空度(打开标准气镇)

Pa

≤ 70

Torr

≤ 5.25×10³

mbar

≤ 7×10²

额定功率

kW

5.5

输入电源

V

380V三相

输入频率

Hz

50

进气/排气接口

 

G2内螺纹

油量(油箱容量)

L

8.5-11.5

冷却方式

 

风冷

环境温度

5-40

噪音

dB(A)

≤70

重量(约)

kg

250

尺寸(L*W*H)

mm

1086X556X450

防护等级

 

IP55 F级

适用介质

 

干燥气体、少量可凝性气体(带气镇时)、非腐蚀性气体(可选防腐涂层)

 

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